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下游晶圆厂加快验证 上海新阳首获光刻胶订单

来源:新闻门户     作者:华夏门户     浏览:次     发布时间:2021-07-03
摘要:海内又一家企业光刻胶产物取得新希望,上海新阳(300236.SZ)6月30日盘后宣布通告称,公司自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶已通过客户验证,并取得首笔订单。公司相关认真人暗示,这个产……

海内又一家企业光刻胶产物取得新希望,上海新阳(300236.SZ)6月30日盘后宣布通告称,公司自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶已通过客户验证,并取得首笔订单。公司相关认真人暗示,这个产物的开拓和财富化是公司第三大焦点技能——光刻技能的重要偏向之一,首笔订单已经取得,后续该产物将进入财富化阶段。

跟着全球缺芯潮继承伸张,晶圆代工场的扩产势能已传导至财富链上游。而光刻胶作为半导体光刻工艺的焦点质料,仍面对较大缺口。

当下国产光刻胶与海外差距较大,用于出产6英寸硅片的g/i线光刻胶自给率为20%,出产8英寸硅片的KrF光刻胶自给率不敷5%,制程更高的ArF和EUV胶则尚无量产,中高端光刻胶的市场份额险些被外洋龙头把持。

早前受福岛地动影响,全球光刻胶龙头之一的日本信越化学产能受限,并限制对华出口KrF光刻胶,进一步加剧了海内光刻胶供给告急排场。今朝KrF光刻胶在海内仅有彤程新材(603650.SH)的子公司北京科华实现量产,产能为10吨/年阁下。

限供和缺货也加快了光刻胶在本土下游晶圆厂的验证。除此次宣布通告的上海新阳外,南大光电(300346.SZ)自主研发的ArF光刻胶于克日通过第二家客户验证,并获小批量订单;晶瑞股份(300655.SZ)的KrF光刻胶亦进入客户验证尾期。据业内人士先容,凡是环境下,光刻胶研发投产后,需经12~18个月的客户验证周期。

在国产化良机敦促下,上述公司也在加码半导体光刻胶的相关研发和产能建树。上海新阳和晶瑞股份都在本年上半年购入ASML光刻机,用于湿法ArF光刻胶的研发;彤程新材则在5月宣布通告称,子公司彤程电子投资5.7亿元在上海建树年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目。

责任编辑:华夏门户
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